Keithley 自動化檢定ACS軟件

用于特性分析的靈活編程方式

ACS的特點(diǎn)是腳本編輯器，這是一個獨(dú)立的工具，帶有圖形用戶界面，用于開發(fā)Python代碼和TSP®腳本，進(jìn)行儀表控制、數(shù)據(jù)分析和系統(tǒng)自動化操作。其提供創(chuàng)建和開發(fā) GUI 設(shè)計以及管理用戶庫和模塊的直觀方法。

Keithley 自動化檢定ACS軟件自動化數(shù)據(jù)收集過程

ACS的晶圓探針自動化選項(xiàng)使您能夠輕松將各種常用的半自動或全自動晶片探針臺連接到測試設(shè)置中，從而可以快速捕獲大量數(shù)據(jù)。此選項(xiàng)包括晶片描述實(shí)用程序、具有晶片評等功能的實(shí)時晶片圖、暗盒樣品計劃實(shí)用程序以及測試后暗盒和晶片查看實(shí)用程序。ACS 內(nèi)置的許多工具和功能都可以增強(qiáng)設(shè)備的自動檢定能力

Keithley 自動化檢定ACS軟件

分享測試項(xiàng)目和結(jié)果

ACS提供了一組通用的關(guān)鍵元素，可以跨多種硬件配置工作，從而減少了時間并提高了生產(chǎn)率。系統(tǒng)從一個硬件到另一個硬件實(shí)現(xiàn)的執(zhí)行是一致的，因此，例如，很容易將用于單設(shè)備組件表征的基礎(chǔ)ACS系統(tǒng)的你的測試結(jié)果轉(zhuǎn)移到另一個設(shè)計用于晶圓級測試的系統(tǒng)。

Keithley 自動化檢定ACS軟件*大限度地提高 Keithley 硬件的生產(chǎn)率

ACS中的工具簡化了測試開發(fā)流程，*大限度地提高了與系統(tǒng)相連的每個Keithley儀器的速度。ACS 和 Keithley 基礎(chǔ)TSP的硬件一起提供了超高的吞吐量，從而降低了測試成本，不需要您在獲得實(shí)現(xiàn)目標(biāo)所需的數(shù)據(jù)之前花時間學(xué)習(xí)新的編程概念或語言。

Keithley 自動化檢定ACS軟件支持的儀器

注：

1. ITM 支持 24xx TTI 儀器、26xx 儀器和混合用例。
2. 用戶可以通過 STM 腳本控制任何 TSP 儀器。現(xiàn)有 ACS STM 庫支持每個庫定義的特定儀器。
3. 用戶可以通過 PTM 腳本控制任何儀器。現(xiàn)有的 ACS PTM 庫支持每個庫定義的特定儀器。

從實(shí)驗(yàn)室到晶圓廠的應(yīng)用

ACS基礎(chǔ)版集成測試系統(tǒng)是參數(shù)化揀選、高功率半導(dǎo)體器件檢定和晶片級可靠性測試等應(yīng)用的完整解決方案。當(dāng)配合適合的半自動和全自動探針臺，它們的硬件配置和測試項(xiàng)目開發(fā)可以很容易地針對特定的任務(wù)進(jìn)行優(yōu)化。

使用 Keithley 高功率系統(tǒng) SMU 儀器和 ACS 基礎(chǔ)版軟件測試功率半導(dǎo)體設(shè)備的應(yīng)用指南

ACS 多站點(diǎn)并行測試集成測試系統(tǒng)應(yīng)用指南

提高可靠性吞吐量

可靠性測試可提高質(zhì)量、降低故障率、確保高產(chǎn)量并增加信心。ACS 軟件支持用于高容量可靠性測試的 Shared Stress 方法，加快了測試時間。 

使用 ACS 進(jìn)行 Shared Stress 可靠性測試應(yīng)用指南

使用增量模式進(jìn)行超低電阻測量

2182A/622X 組合非常適合許多納米技術(shù)應(yīng)用，因?yàn)樗鼫y量電阻時可以不消耗被測器件 (DUT) 的太多功率，否則可能會導(dǎo)致結(jié)果無效，甚至損壞 DUT。使用 ACS 軟件執(zhí)行增量模式測試，將這些敏感的測量結(jié)果整合到測試系統(tǒng)中。

Keithley 6200/2182A 系列超低電阻配置

Keithley 自動化檢定ACS軟件

用于GaN HEMT I-V 特性分析的電源時序

由于GaN HEMT的“常開”特性，在進(jìn)行I-V特性分析時需要一個特定的電源時序。ACS軟件支持在不破壞器件本身的I-V特性的情況下，對器件的GaN HEMT特性進(jìn)行電源時序測試。

GaN HEMT 檢定的電源時序應(yīng)用指南

Keithley 自動化檢定ACS軟件半導(dǎo)體工作流程解決方案

服務(wù)于半導(dǎo)體工作流程中的應(yīng)用

ACS Basic Edition 和 ACS Standard Edition 軟件在整個半導(dǎo)體工作流程中均用于對半導(dǎo)體器件進(jìn)行廣泛的測試，以獲得詳細(xì)的檢定。整合 ACS Basic 和 ACS Standard 的測試系統(tǒng)可提供：

• 在設(shè)備、晶圓和暗盒級進(jìn)行測試
• 靈活的配置、軟件和應(yīng)用程序定制
• 交互式和自動化系統(tǒng)操作
• GUI 和腳本工具的強(qiáng)大組合，用于測試模塊開發(fā)
• 
  

開發(fā)階段

ACS Basic Edition 軟件*適用于組件和分立（封裝）半導(dǎo)體器件的參數(shù)測試。該軟件運(yùn)用以下特點(diǎn)，*大限度地提高了技術(shù)人員與工程師在研發(fā)方面的生產(chǎn)力：

• 專為封裝器件（MOSFET、BJT、IGBT、二極管、電阻器等）設(shè)計
• 豐富的測試庫，無需編程即可快速輕松地完成測試設(shè)置和執(zhí)行
• 內(nèi)置數(shù)據(jù)分析工具，可快速分析參數(shù)數(shù)據(jù)
• 支持 Keithley 2600B 系列、2400 系列、2651A 系列和 2657A 系列系統(tǒng) SourceMeter SMU 儀器

集成階段

集成階段使用 ACS Standard Edition 軟件進(jìn)行半自動晶圓測試，包括穩(wěn)定的過程開發(fā)和晶圓級可靠性 (WLR)。該軟件可用于 SMU-per-pin 系統(tǒng)級測試。ACS WLR 軟件提供以下好處：

• 全自動功能，可測試單個晶圓或整個暗盒
• 可實(shí)現(xiàn)靈活的測試設(shè)置和并行測試的軟件
• 可靠性測試模塊 (RTM) 符合 JEDEC 標(biāo)準(zhǔn)測試方法
• 支持創(chuàng)建定制的測試模塊/程序

生產(chǎn)階段

ACS 標(biāo)準(zhǔn)版軟件還適用于完全集成的機(jī)架式自動定制測試系統(tǒng)，用于過程控制監(jiān)控 (PCM)、晶圓驗(yàn)收測試 (WAT) 和晶粒挑揀。ACS Standard 軟件中內(nèi)置的許多工具和功能可增強(qiáng) 設(shè)備的自動檢定能力：

• 晶圓和暗盒級自動化
• 將設(shè)備和測試映射到站點(diǎn)和子站點(diǎn)的測試圖
• 交互式探針臺控制模式
• 單個或每個晶圓的吉時利數(shù)據(jù)文件 (KDF) 和/或 CSV 文件

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